中国光刻机的新突破国产EUV光刻机有突破进展( 二 )

之前中科院院长白春礼就表示，要把美“卡脖子”清单变成科研任务来布局，组织力量突破光刻机等关键的核心技术。从上海光机所的进展来看，确实已经在布局突破了。
值得一提的是，我们也不是近两年才布局研发EUV相关技术，而是早就进行布局。

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之前，ASML曾放言，即使给我们图纸，我们也造不出光刻机。后来，连ASML总裁也改口了，表示我们会尝试突破，不是完全没有可能，继续围堵只会加速我们突破。
【中国光刻机的新突破国产EUV光刻机有突破进展】 其实，国产EUV光刻机的拼图，我们已经完成了不少，相信一定会尽快完成拼图！

中国光刻机的新突破 国产EUV光刻机有突破进展( 二 )